1. 大族激光 自主研發的 PMU 量測系統，電阻量測精度最高達 ±0.05%。
2. 大族激光 自主研發的修阻軟體系統，支援多種修阻路徑圖形。
3. 支援電阻、交流與直流電壓以及電流等參數的修阻。
4. 穩定可靠，修阻後的參數維持高度穩定，不漂移。
5. 操作與維護成本低，整體效率高、耗電量低，配備內建防護功能。
6. 內建 CNC 編程功能，可快速滿足使用者客製化需求。
雷射修阻系統廣泛應用於薄膜電路與精密薄膜電阻，包括薄膜電阻晶圓的雷射修阻。這些薄膜電阻用於耦接器、濾波器、衰減器、終端器、放大器等精密電子電路。
雷射修阻設備可用於厚膜電阻阻值調整與厚膜電路功能修阻。厚膜電路廣泛應用於工業電子與功率電子、汽車電子、感測器與儀表、電腦與通訊電子、消費電子與醫療器材、航太等領域。
機型 | HTS800-RH/ HTS801-RH | |
雷射系統 | 雷射類型 | 光纖雷射／UV 雷射 |
波長 | 1064nm/355nm | |
輸出功率 | 20W/1W~4W | |
重複頻率 | 1-100kHz/1-500kHz | |
脈寬 | 3-500ns/<50ns | |
光學系統 | 類型 | 高速振鏡 |
典型光斑尺寸 | 15-40 μm/6 -15 μm | |
掃描範圍 | 70mm×70mm/30mm×30mm | |
掃描解析度 | 1μm | |
重複精度 | ±2μm | |
視覺系統 | 同軸監控 | 5 百萬像素工業相機 |
同軸側定位（選配） | 5 百萬像素工業相機搭配智慧視覺控制器 | |
工作台 | 平台類型 | 線性馬達搭配光柵尺 |
X/Y 範圍 | 300mm×300mm | |
重複精度 | ±2μm | |
上下料工作台 | 電動調整，旋轉範圍：±5° | |
加工基板尺寸（可客製化） | 100mm×100mm | |
量測系統 | 相容性 | 低、中、高電阻量測 |
量測方式 | 2 線或 4 線 | |
電阻 | 範圍：100mΩ~100MΩ | |
低：±【0.05%+0.5%/R（Ω）】 | ||
中：±0.05% | ||
高：±【0.05% +0.05% x R（MΩ）】 | ||
電壓 | 範圍 -10V~+150V | |
滿量程精度 0.01% | ||
量測通道 | 48（可擴充至 144） | |
量測時間 | 3us/次，可依客戶需求調整 | |
誤差補償 | 一鍵式自動校準 | |
