1. 平臺採用敞開式結構，方便拆裝維護；
2. 內置光柵或磁柵回饋系統,解析度可選0.1um,0.5um，lum,5um；
3. 採用動磁式平板直線電機；
4. 重複精度達到士1 um；
5. 體積小,結構簡單,適應於輕負載,高精度的場合；
6. 可任意架構成XY十字平臺。
電機常數 | ||
參數 | 單位 | 數值 |
連續推力 (在溫度Tmax下） | N | 0.6 |
峰值推力 | N | 3 |
電機常數 (在25℃下） | N√W | 0.5 |
最大持續損耗功率 | W | 1.42 |
連續電流 (在溫度Tmax下） | Arms | 0.15 |
峰值電流（持續時間1S) | Arms | 0.8 |
推力常數 (25℃，±5%） | N/Arms | 4 |
反電勢常數(25℃，±5%） | Vrms/m/s | 1.3 |
電阻(25℃，±5%）P-P | Ω | 30 |
電感(25℃，±20%）P-P | μm | 0.25 |
最高線圈允許溫度 | ℃ | 120 |
極距 (N-N) (360℃ 電氣週期) | mm | 24 |
電磁吸力 | N | 11 |
平臺參數 | ||
參數 | 單位 | 數值 |
最大負載 | kg | 1 |
有效行程 | mm | 10 |
解析度 | μm | 0.1 |
最大速度（1） | mm/s | 200 |
重複精度 | μm | ±0.5 |
平臺重量 | kg | 0.1 |
工作環境溫度、濕度 | 0-40℃、20-80%RH | |
注(1):根據實際的負載品質，會存在達不到最高速度的情況，具體速度可與工程師溝通。
