1. 相容於 8 吋及以下晶圓，可選配相容 12 吋晶圓的載入口
2. 雙臂機械手，有效提升加工效率
3. 配備專用校準器，可彈性設定邊緣打標位置
4. 電動對焦機構，可依產品厚度調整高度
5. 機械手配備 Mapping 功能，可偵測疊片與偏移片
機型 | HDZ-9222 |
雷射波長 | 紫外線、綠光及紅外線雷射光源 355nm、532nm、1064nm |
供料方式 | 雙臂機械手 |
冷卻方式 | 風冷／水冷 |
最終加工重複定位精度 | ±0.1mm |
加工產品類型 | 8 吋及以下晶圓（可選配相容 12 吋晶圓的 Loadport） |
每小時處理晶圓數 | 120-150 片 |
支援檔案格式 | dxf，plt |
電源供應 | AC/220V, 50/60Hz |
氣源 | 0.6-0.8MPa |
整體尺寸 | 2000mm*1200mm*1850mm |
