1. 相容於晶圓正面打標、背面打標製程，以及裸晶片與透光膜打標製程。
2. 自動化操作，配備雙臂機械手以提升產品加工效率。
3. 功率檢測系統，確保加工效果一致性
機型 | HDZ-9121 |
雷射波長 | 紫外線及綠光雷射光源 355nm、532nm |
最小字高 | 0.15mm |
冷卻方式 | 水冷 |
最終加工重複定位精度 | ±0.05mm |
加工產品類型 | 12 吋及以下晶圓 |
支援檔案格式 | dxf、plt |
SECS/GEM | 支援（選配） |
供應電壓 | AC/220V/50Hz |
氣源 | 0.6-0.8MPa |
整體尺寸 | 2500mm*1900mm*2200mm |
