1、應用於半導體晶圓DIE標記,相容8、12吋晶圓產品;
2、適用於Si/EMC/防焊層等常的晶圓材料;
3、相容晶圓正打/反打製程;
4、相容裸片和透膜標記製程;
5、全自動作業,配備雙臂機械手,提高產品加工效率;
6、可選配Load Port/SMIF上料模組;
7、配備功率檢測系統,保證加工效果的一致性;
8、支援SECS-GEM通訊協議。
主要應用於Si、GaAs、SiC、EMC、防焊層等常12吋以下晶圓材料的DIE標記。