1. 產品厚度:0.2-1mm
2. 切割尺寸精度要求:±0.02mm
3. 加工效率:6 秒/件
4. 非接觸加工,材料損傷極小,精度高
5. 設備具備友善介面、操作簡單、維護便利
6. 大理石線性馬達平台,穩定性高
AR 鏡片、光學鍍膜玻璃
| 機台 | 全自動 AR 繞射光波導鏡片切割裂片機 |
| 加工範圍 | 8 吋與 12 吋晶圓(全自動) |
| 平台重複定位精度 | ±1μm |
| 平台動態定位精度 | ±3μm |
| 平台最大移動速度 | 200mm/s |
| 相機定位精度 | ±0.01mm |
| 機台總重量 | ≤4.5T |
| 雷射產生器 | 紅外線皮秒 |
| 波長 | 1030nm |
| 功率 | 40W |
| 脈寬 | <10ps |
| 冷卻方式 | 水冷 |
| 電源需求 | 380V/50Hz 三相交流 |