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激光技術在半導體晶圓劃片工藝中的應用
劃片是將半導體晶圓分割成單個晶片的過程,一般於晶圓已完成前道工藝制程和電性能測試的基礎上進行。同時作為半導體封裝的首步工序,劃片質量將直接影響封裝成品的最終可靠性。
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